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超纯水系统中应用氮封装置的技术工艺方案
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氮封装置示意图中贮罐内超纯水箱端覆盖氮气,其压力一般在100mmH2O 左右,通过氮封保护器控制。出液阀开启放油时,贮罐内液位下降,此时ZZDG 供氮调节阀开度增大,向罐内补充氮气使压力增加至设定值。进液阀开启进油时,液位上升,气相部分容积减小,氮气压力上升,此时ZZDG 供氮调节阀关闭,而ZZDX 泄氮调节阀在压力控制器作用下开启,排出氮气使压力降至设定值,压力设定值比供氮阀要高。而呼吸阀的呼气压力设定值比ZZDX 泄氮调节阀高。
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